| 发明名称 | 感光材料和光刻方法 | ||
| 摘要 | 感光材料和形成图案的方法，包括提供可通过操作浮动到由感光材料形成的层的顶部区域的感光材料的组分成分。在实例中，感光层包括具有氟原子(例如，烷基氟化物基团)的第一组分。在形成感光层后，第一组分浮动到感光层的顶面。此后，图案化感光层。本发明提供了感光材料和光刻方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103454856A | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201310024509.5 | 申请日期 | 2013.01.23 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 张庆裕 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
| 主权项 | 一种感光材料，包括：溶剂；光生酸剂(PAG)组分；以及猝灭剂组分，其中，所述PAG组分和所述猝灭剂组分中的至少一种包含烷基氟化物基团。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||