| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；由式(I)表示的化合物；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％：其中所述环W<sup>1</sup>是含氮杂环，或具有取代或未取代的氨基的苯环，A<sup>1</sup>表示苯基或萘基，并且n表示2或3的整数。<img file="DDA00003244588700011.GIF" wi="604" he="221" /> | ||
| 申请公布号 | CN103454857A | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201310198534.5 | 申请日期 | 2013.05.24 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 杉原昌子;河村麻贵 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；由式(I)表示的化合物；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％：<img file="FDA00003244588400011.GIF" wi="717" he="161" />其中所述环W<sup>1</sup>是含氮杂环，或具有取代或未取代的氨基的苯环，A<sup>1</sup>表示苯基或萘基，并且n表示2或3的整数。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||