图案化的方法

摘要

一种图案化的方法。首先，在基底上形成材料层。然后，在材料层上形成灰化层。接着，在灰化层上形成图案化转移层，其中图案化转移层具有小于曝光极限尺寸的关键尺寸。之后，以图案化转移层或图案化转移层之补偿层为罩幕，来图案化灰化层，以形成图案化灰化层。继之，以图案化灰化层为罩幕，来图案化材料层。