并行扫描激光预处理装置及方法

摘要

本发明公开了一种并行扫描激光预处理装置及方法，属于光学技术领域。装置包括沿激光传输方向设置的激光光源、机械快门、能量衰减器、光束汇聚系统、分光劈板和合束镜，还包括光束轮廓仪、激光能量计、信标光源和电动位移台；光学元件置于电动位移台上；装置与光学元件之间设有倾斜镜阵列，光学元件前设置有检测相机。本发明在重复利用激光能量提高预处理效率的同时，解决了损伤导致的反射辐照不均匀问题，可高速有效提升大口径光学元件激光损伤阈值。

主权项

一种并行扫描激光预处理装置，包括沿激光传输方向设置的激光光源（1）、机械快门（2）、能量衰减器（3）、光束汇聚系统（4）、分光劈板（5）和合束镜（13），还包括光束轮廓仪（6）、激光能量计（7）、信标光源（8）和电动位移台（12）；光学元件（11）置于电动位移台（12）上；其特征在于，装置与光学元件（11）之间设有倾斜镜阵列（9），光学元件（11）前设置有检测相机（10）。