用于超声系统的CMUT封装

摘要

超声扫描仪和制造超声扫描仪的方法。方法的一个实施方式包括使柔性电子器件(例如，IC)和柔性超声换能器(例如，圆形CMUT阵列的一部分)与柔性构件集成。IC、换能器和柔性构件可形成柔性子组件，柔性子组件被卷起以形成超声扫描仪。IC和换能器的集成可同时发生。在可选方案中，电子器件的集成可出现在换能器的集成之前。而且，换能器的集成可包括使用半导体技术。此外，卷起的子组件可形成管腔或可连接到管腔。该方法可包括折叠柔性子组件的一部分以形成前视换能器。一些子组件的柔性构件可包括一对臂。

主权项

一种封装超声系统的方法，包括：在基底上制造超声换能器或电子电路中的至少一个；使柔性构件与所述超声换能器或所述电子电路中的至少一个集成；从所述基底分离所述柔性构件以及与其集成的所述电子电路或所述超声换能器中的至少一个，以获得柔性子组件；以及使所述柔性子组件成形为有至少一个弯曲的部分并且成为所述超声系统。