电池硅片自动除尘装置

摘要

本发明涉及一种电池硅片自动除尘装置，包括电池硅片输送装置、电池硅片吸附移动装置和电池硅片缓存装置；电池硅片吸附移动装置包括移动导轨、移动吸盘和除尘装置，移动吸盘滑动连接于水平放置的移动导轨，除尘装置固定连接在移动吸盘上；除尘装置包括三通阀、空气出气调节阀以及和三通阀连通的进气管、出气管一和出气管二，出气管一的一端和移动吸盘连通，在移动吸盘处于左限位时，出气管二的出气口位于电池硅片缓存装置的左上方，用作除尘。本发明的电池硅片自动除尘装置，在吸盘吸附电池硅片的同时，通过出气管二的出口对电池硅片缓存装置中的表层硅片进行吹扫除尘，装置简单，并且具有良好的除尘效果，避免人为再次清理对硅片造成的污染。

主权项

一种电池硅片自动除尘装置，其特征在于包括：电池硅片输送装置（1）、电池硅片吸附移动装置（2）和电池硅片缓存装置（3）；所述电池硅片吸附移动装置（2）包括移动导轨（4）、移动吸盘（5）和除尘装置（6），所述移动吸盘（5）滑动连接于水平放置的移动导轨（4），所述除尘装置（6）固定连接在移动吸盘（5）上；所述除尘装置（6）包括三通阀（61）、进气管（62）、出气管一（63）和出气管二（64），所述进气管（62）一端和三通阀（61）固定连通，另一端和压缩空气连通，所述出气管一（63）的一端和三通阀（61）固定连通，另一端和移动吸盘（5）连通，所述出气管二（64）的一端与三通阀（61）固定连通，在移动吸盘（5）处于左限位位置时，所述出气管二（64）的另一端出气口位于电池硅片缓存装置（3）的左上方，所述出气管二（64）近出气口处向下弯曲；所述电池硅片输送装置（1）设置在移动吸盘（5）左限位位置的正下方，所述电池硅片缓存装置（3）设置在移动吸盘（5）右限位位置的正下方。