一种六自由度主动隔振装置

摘要

本发明公开了一种六自由度主动隔振装置，具有六自由度隔振和定位功能。该装置包括下平台、上平台和六条支腿；六条支腿分别通过固定块与上平台及下平台连接，构成史都华并联机构；在下平台上的三个固定块的位置形成等边三角形，在上平台上的三个固定块的位置也形成等边三角形，六条支腿结构相同，相邻的两支腿互相垂直；各支腿均包括主动执行器和空气弹簧，主动执行器与空气弹簧形成并联结构，其中空气弹簧作为被动隔振部件。本发明采用主动和被动隔振组合方式，可实现超低频的固有频率，能对超过固有频率的振动进行有效的隔离；能够实现对六个自由度振动的良好衰减，能够实现六自由度的精确定位。

主权项

一种六自由度主动隔振装置，其特征在于，该装置包括下平台(1)、上平台(4)和六条支腿(3)；六条支腿(3)分别通过固定块与上平台(1)及下平台(4)连接，构成史都华并联机构；在下平台(1)上的三个固定块的位置形成等边三角形，在上平台(4)上的三个固定块的位置也形成等边三角形，六条支腿(3)结构相同，相邻的两支腿互相垂直，各支腿(3)均包括主动执行器和空气弹簧，主动执行器与空气弹簧形成并联结构，其中空气弹簧作为被动隔振部件。