一种化学机械研磨组合物

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：亲水基表面活性剂1-8份，多聚甲醛4-6份，酸酐5-7份，硫脲6-13份，乙醛1-8份，乙二醛5-8份，氯化亚铁3-7份，氧化镁1-8份，盐酸3-8份，氧化铜1-3份，氧化锌1-2份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，抗氧剂2-4份，防老剂1份，氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料，可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力，使化学机械研磨剂和琉水性薄膜更紧密贴合。

主权项

一种化学机械研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：亲水基表面活性剂1‑8份，多聚甲醛4‑6份，酸酐5‑7份，硫脲6‑13份，乙醛1‑8份，乙二醛5‑8份，氯化亚铁3‑7份，氧化镁1‑8份，盐酸3‑8份，氧化铜1‑3份，氧化锌1‑2份，甲基丙烯酸甲酯15‑20份，甲基三乙氧基硅烷14‑19份，抗氧剂2‑4份，防老剂1份，氯化钙2‑5份。