Verfahren und Vorrichtung zur Fertigungskontrolle eines Kollimators

摘要

Verfahren zur Fertigungskontrolle eines Kollimators (2), zumindest aufweisend die folgenden Verfahrensschritte: 1.1. Platzieren des Kollimators (2) an mindestens einer Referenzmaske (5), 1.2. Durchstrahlen des Kollimators (2) in Richtung einer Referenzmaske (5) mit einer Strahlung, 1.3. Vergleichen einer Istgeometrie des Kollimators (2) mit einer Sollgeometrie der Referenzmaske (5), und 1.4. Ausgeben mindestens eines Signals abhängig von einem jeweiligen Vergleichsergebnis.