摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur optischen Charakterisierung von Fresnellinsen mittels Wellenflächensensorik unter Einsatz eines Shack-Hartmann-Sensors. Bei der erfindungsgemäßen Anordnung wird elektromagnetische Strahlung einer Strahlungsquelle auf die Oberfläche einer Fresnellinse gerichtet und von dort an Wirkflanken der Fresnellinse gebrochene elektromagnetische Strahlung trifft auf ein Mikrolinsenarray auf. Von den einzelnen Mikrolinsen (A, B, C ...) wird elektromagnetische Strahlung auf ein optisches Detektorarray zur Bestimmung von Intensitätsschwerpunkten der mit den Mikrolinsen (A, B, C, ...) fokussierten Strahlung gerichtet, wodurch Positionen von Fokusspots bestimmbar sind, die mit vorgegebenen Postionen mittels einer Auswertung verglichen werden. Die Strahlungsquelle kann breitbandige elektromagnetische Strahlung emittieren. Allein oder zusätzlich kann ein Verhältnis der Größe der effektiven Flächen von Wirkflanken einer jeweiligen zu charakterisierenden Fresnellinse pFRE zur Größe der effektiven Flächen der eingesetzten Mikrolinsen (A, B, C, ...) pMLA von ≥ 1 eingehalten sein. Es ist aber auch allein oder zusätzlich möglich ein optisches Teleskop zur Anpassung des Strukturgrößenverhältnisses der effektiven Flächen Mikrolinsen (A, B, C ...) in Bezug zur Größe der effektiven Flächen der Wirkflanken im Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung zwischen der Fresnellinse und dem Mikrolinsenarray anzuordnen. Das Mikrolinsenarray kann aber auch mit dem Detektorarray senkrecht zur optischen Achse translatorisch bewegt werden. |