发明名称 | 纳米压印用模具及曲面体 | ||
摘要 | 本发明的曲面用纳米压印用模具的特征是由250μm厚的Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。根据本发明的曲面用纳米压印用模具,即使对曲面也能形成纳米压印。 | ||
申请公布号 | CN103429417A | 申请公布日期 | 2013.12.04 |
申请号 | CN201280014141.8 | 申请日期 | 2012.05.15 |
申请人 | 综研化学株式会社 | 发明人 | 高桥孝德;山田纮子;三泽毅秀;小岛绫太 |
分类号 | B29C59/02(2006.01)I;B29C33/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | B29C59/02(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 冯雅 |
主权项 | 纳米压印用模具,其特征在于,由Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。 | ||
地址 | 日本东京 |