展平装置及磁控溅射卷绕镀膜设备

摘要

一种展平装置，包括展平辊，展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀，展平辊设有旋转轴，还包括气管、充气泵和动力装置；气管的一端与展平辊连通，充气泵的一端与气管的另一端连通，气体通过气管进入展平辊，动力装置的输出端通过旋转轴与展平辊连接，带动展平辊转动；上述展平装置工作时，动力装置使展平辊连续地旋转；充气泵通过气管向展平辊内充入气体，展平辊充入气体后膨胀；在镀膜的过程中，柔性基材周期性地由放卷装置放卷，收卷装置收卷，充入气体后膨胀的展平辊连续地旋转且直接与柔性基材接触，对柔性基材产生压力，可防止柔性基材在镀膜过程中产生皱褶，提高生产良率及质量。同时提供一种应用改展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备。

主权项

一种展平装置，其特征在于，包括：展平辊，所述展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀，所述展平辊内部设有旋转轴，且所述旋转轴的轴向长度大于所述展平辊的轴向长度；气管，所述气管的一端与所述展平辊连通；充气泵，所述充气泵的一端与所述气管的另一端连通，气体通过所述气管进入所述展平辊；动力装置，所述动力装置的输出端通过所述旋转轴与所述展平辊连接，带动所述展平辊旋转。