连续化低压石墨烯生长系统

摘要

本发明涉及一种连续化低压石墨烯生长系统，主要包括加热炉体、流量控制与气体混合系统、PLC集成控制模块、真空系统、伺服电动机及减速器，所述加热炉体内设有两个伺服电动机，所述加热炉体的一端与真空系统相连接，另一端与流量控制与气体混合系统相连接。本发明连续化的石墨烯生长避免了传统的升降温循环操作；低压的石墨烯生长环境，可以减少气体的用量，节约了能耗和程序，同时提高了系统的安全性。能够解决现有管式炉难以实现石墨烯规模化制备以及均匀性控制等问题。

主权项

一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：主要包括加热炉体、流量控制与气体混合系统、PLC集成控制模块、真空系统、伺服电动机及减速器，所述加热炉体内设有伺服电动机，所述加热炉体的一端与真空系统相连接，另一端与流量控制与气体混合系统相连接。