超声波振子阵列、超声波振子阵列的制造方法以及超声波内窥镜

摘要

本实施方式的超声波振子阵列（40）包括：基板（41）；多个槽状的凹部（41A），其以规定间隔配置在基板（41）的一个面上；元件区域（31），其在基板（41）的上述一个面那一侧配置在上述凹部（41A）彼此之间；挠性膜（42），其覆盖基板（41）和元件区域（31），且脆性比上述基板（41）的脆性低；以及分割槽（28），其具有比上述凹部（41A）的宽度窄的宽度，从上述基板（41）的另一个面到达上述凹部（41A）内的挠性膜（42）。

主权项

一种超声波振子阵列，其特征在于，该超声波振子阵列包括：基板；直线状的多个槽状的凹部，其以规定间隔配置在上述基板的一个面上；元件区域，其配置在上述基板的上述一个面中的上述凹部彼此之间，并由至少一个超声波振子元件构成；挠性膜，其在上述基板的上述一个面那一侧覆盖上述基板和上述元件区域，且脆性比上述基板的脆性低；以及分割槽，其具有比上述凹部的宽度窄的宽度，并从上述基板的另一个面到达上述凹部内的上述挠性膜。