薄膜电晶体的制作方法

摘要

一种薄膜电晶体的制作方法。于一基材上形成一闸极、一源极以及一汲极。于基材上形成一闸绝缘层，以覆盖闸极并隔绝闸极与源极以及闸极与汲极。于闸绝缘层上形成一具有绝缘特性的金属氧化物材料层。于基材上形成一含氢的氮化矽层，以覆盖源极、汲极以及具有绝缘特性的金属氧化物材料层。形成含氢的氮化矽层的方法包括进行一沉积程序，且于结束沉积程序之前，于沉积程序中通入一矽烷气体以使具有绝缘特性的金属氧化物材料层转换成一具有半导体特性的金属氧化物材料层。