| 摘要 |
[课题]提供：使板状构件除了其周缘部之部份(主要部份)相对于吸附台为浮置之非接触状态而加以吸附保持，藉此，可不伤及其面而确实地保持该板状构件之非接触型吸附保持装置。;[解决手段]关于本发明之非接触型吸附保持装置1，其特征为：将藉由气体之喷出而产生负压的柏努利吸附手段10配置于吸附台2，使下面周缘部被载置于前述吸附台2上之晶圆(板状构件)W，除了周缘部以外之部份(主要部份)对于吸附台2为浮置状态下，藉由前述柏努利吸附手段10来保持晶圆W，相对于吸附台2以非接触方式将之吸附保持。另外，设置有：将被吸附保持于前述吸附台2之前述晶圆W的下面部朝上方加压，用以使该晶圆W保持于大致平面之加压手段。 |
