基板研磨液之使用点处理方法与系统

摘要

本案实施方式大致提供用来处理基板处理期间(例如，来自电化学机械研磨(ECMP)期间)所产生的废弃流出物之方法与设备。在一实施方式中，提供一种用以处理在研磨制程中所产生的废弃流出混合物的方法，包含流动废弃流出物(其包括来自基板处理系统之螯合的金属错化物)；将该废弃流出物与氧化剂组合在一起，以产生自由的螯合剂；流动该废弃流出物使通过有机黏土介质与活性碳介质，以移除自由的螯合剂；并流动该废弃流出物使通过阴离子交换树脂，以移除金属离子并产生废水。