| 摘要 |
<p>Beleuchtungsoptik (4) zur Beleuchtung eines Objektfeldes (5) in einer Projektionsbelichtungsanlage (1) umfassend einen ersten Facettenspiegel (13) mit einer Struktur, welche in mindestens einer Richtung eine Ortsfrequenz von mindestens 0,2 mm–1 aufweist, und einen zweiten Facettenspiegel (14) umfassend eine Vielzahl von Facetten (14a), wobei die Facetten (14a) jeweils mit Mitteln zur Dämpfung der Ortsfrequenzen der Struktur des ersten Facettenspiegels (13) versehen sind.</p> |
