Verfahren zum Herstellen optoelektronischer Bauelemente und Vorrichtung zum Herstellen optoelektronischer Bauelemente

摘要

In verschiedenen Ausführungsbeispielen wird ein Verfahren zum Herstellen optoelektronischer Bauelemente bereitgestellt, das Verfahren aufweisend: Sprühen einer Leuchtstoffschicht eines optoelektronischen Bauelementes auf ein Substrat (104), wobei der Stoff oder das Stoffgemisch der Leuchtstoffschicht beim Aufsprühen eine elektrische Ladung aufweist und wobei der elektrisch geladene Stoff oder das wenigstens teilweise elektrisch geladene Stoffgemisch beim Aufsprühen der Leuchtstoffschicht ein größeres elektrisches Potential aufweist als wenigstens ein Bereich des Substrates (104); und wobei die Dicke der Leuchtstoffschicht des aufgesprühten Leuchtstoffes mittels eines elektrischen Potentialgradientens auf dem Substrat (104) während des Aufsprühens der Leuchtstoffschicht lokal eingestellt wird.