偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

主权项

一种光学照明装置，是对被照射面进行照明的光学照明装置，其特征在于其包括：偏光变换元件，将入射光的偏光状态变换成所定的偏光状态；偏光监视器，检测出通过该偏光变换元件的光的偏光状态；该偏光变换元件利用有旋光性的光学材料所形成，且有在周方向变化的一厚度分布；该偏光变换元件将有单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，或是有在径向方向的偏光方向的径方向偏光状态的光。