| 摘要 |
一种氧化矽玻璃坩埚的制造方法，包含制程：向旋转的模具内供应氧化矽原料粉来形成坩埚形成形体；一面旋转坩埚形成形体，一面以由内至外的方向减压并进行电弧加热，形成氧化矽玻璃坩埚，该坩埚包括内侧的透明层和外侧的含气泡层；对坩埚的内面侧进行熔化，藉由控制坩埚的转速，使坩埚的透明层表面附近残留的气泡集中到氧化矽玻璃层的径向外侧的透明层中；对坩埚的内面侧以电弧加热来熔化，藉由控制坩埚的转速，使上述残留气泡的氧化矽玻璃层移动而暴露的透明层表面的无气泡层的一部分转移至径向外侧，以无气泡层覆盖集中气泡的区域。 |
