含氟化合物，含氟聚合物，负型光阻组成物，以及使用彼的图案形成方法

摘要

揭示的为式(1)所示含氟不饱和羧酸，;(1);其中R1示含可聚合双键的基团，R3示氟原子或含氟烷基，W示二价连接基团。此化合物可提供重量平均分子量为1,000－1,000,000的含氟聚合化合物且含式(2)所示重复单元，;(2);其中R3与W如上定义，各R4、R5与R6独立地表示氢原子，氟原子或单价有机基团，R4、R5与R6中至少二个可合并形成环。此聚合化合物可提供对KrF或ArF准分子雷射光为透明的化学放大光阻组成物，且其具有高解析度，并能够形成具有矩形截面而无膨润的图案。