具有氧化金属膜的传感器及其应用

摘要

本发明提供具有经湿式处理而成膜的氧化金属膜，并能够测定光照射、氢气和气压的传感器及其制造方法。本发明的传感器具有通过以下方法制造的氧化金属膜，且能够检测光、氢气和气压，该方法包含：有机膜形成工序，利用基底组合物形成有机膜，该基底组合物包含具有3个以上反应基的加聚性化合物、具有酸性基的加聚性化合物、具有亲水性官能团的加聚性化合物；金属盐生成工序，将所述酸性基转换成金属（M1）盐；金属固定工序，通过用金属（M2）离子水溶液进行处理，将所述酸性基的金属（M1）盐转换为金属（M2）盐；还原工序，还原所述金属（M2）离子，从而在所述有机膜表面形成金属膜；氧化工序，对所述金属膜进行氧化。

主权项

一种传感器，其特征在于，具有通过以下方法制造的氧化金属膜，且能够检测光、氢气和气压，其中，所述方法包含：有机膜形成工序，在基板或薄膜上涂覆基底组合物，并进行聚合，形成有机膜，其中，该基底组合物含有具有3个以上反应基的加聚性化合物、具有酸性基的加聚性化合物、具有亲水性官能团的加聚性化合物；金属盐生成工序，将所述有机膜用含有金属（M1）离子的水溶液进行处理，由此将所述酸性基转换成金属（M1）盐；金属固定工序，将经含有所述金属（M1）离子的水溶液所处理过的有机膜，用含有比所述金属（M1）离子的离子化倾向低的金属（M2）离子的金属（M2）离子水溶液进行处理，由此将所述酸性基的金属（M1）盐转换成金属（M2）盐；还原工序，还原所述金属（M2）离子，由此在所述有机膜表面形成金属膜；氧化工序，对所述金属膜进行氧化。