有机EL用掩模清洁装置及方法

摘要

本发明的目的是，在进行去除附着在有机EL用掩模上的蒸镀物的清洁时，以对基板完全非接触的状态，去除蒸镀物。本发明的掩模清洁装置用于去除附着在形成有若干开口部（4）的有机EL用掩模（2）上的蒸镀物质（20）。在有机EL用掩模（2）的表面，借助电流镜（16）使得从激光光源（15）发出的激光在Y方向扫描，用移动部（14）将掩模板（2）在X方向移动，这样，进行掩模板（2）整个面的扫描。在有机EL用掩模（2）的上方，由送风部（17）和吸引部（18）形成空气流（30），借助激光扫描，使得将蒸镀物质（20）破碎而变成的游离生成物（21）向上方飞散，用空气流（30）运送并除去，进行清洁。

主权项

一种有机EL用掩模清洁装置，用于去除附着在有机EL用掩模上的蒸镀物质，其特征在于，具有：激光机构，对上述有机EL用掩模的蒸镀面以朝上的方式配置的该蒸镀面照射激光，使得将上述蒸镀物质破碎而产生的游离生成物向上方飞散；空气流形成机构，在离开上述有机EL用掩模的表面的位置形成空气流，该空气流以沿着该表面的方式运送游离生成物；以及第2空气流形成机构，从有机EL用掩模的背面侧，经由设置于该有机EL用掩模的开口部，朝向形成于上述有机EL用掩模的表面和上述空气流之间的无风区域，形成上升空气流。