10～100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置

摘要

本发明公开了10～100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置，利用两片氧化铝陶瓷夹片夹住裸露的薄膜或涂覆于基底上的薄膜，用继电器或铷铁硼磁铁固定以夹具夹持的氧化铝陶瓷夹片，并置于维式硬度计的显微镜下观察，氧化铝陶瓷夹片竖直放置，由于薄膜与氧化铝陶瓷夹片或基底之间的衬度差异，利用显微镜的微分头读出两片氧化铝陶瓷夹片之间的距离或靠近薄膜两侧的氧化铝陶瓷夹片与基底一侧之间的距离，即为薄膜厚度。本发明利用显微镜的微分头直接读数，准确度高，操作简单，其测量精度可到0.5～1μm。本发明对于固体薄膜厚度测量方法简单，装置易操作，精确度高，既可工业使用也可实验室使用。

主权项

10～100μm固体薄膜厚度的测量方法，其特征在于，利用两片氧化铝陶瓷夹片夹住裸露的薄膜或涂覆于基底上的薄膜，用继电器或铷铁硼磁铁固定以夹具夹持的氧化铝陶瓷夹片，并置于维式硬度计的显微镜下观察，氧化铝陶瓷夹片竖直放置，所述薄膜与氧化铝陶瓷夹片或基底之间存在衬度差异，利用显微镜的微分头读出两片氧化铝陶瓷夹片之间的距离或靠近薄膜两侧的氧化铝陶瓷夹片与基底一侧之间的距离，即为薄膜厚度。