一种研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨装置，包括：工作台；设置于工作台之上的第一研磨单元和第二研磨单元；机台，用于承载基板在工作台上运动，经过第一研磨单元和第二研磨单元对基板进行研磨；机台包括第一机台和第二机台，第一机台承载基板经过第一研磨单元对基板进行研磨，第二机台承载基板经过第二研磨单元对基板进行研磨。研磨装置还包括设置在第一机台和第二机台之间的可旋转的搬运手，搬运手通过真空吸盘吸附搬运基板并旋转90度。本实用新型通过将对基板的长边和短边分开进行研磨，减少研磨工艺的等待周期，提高研磨流水线的生产效率，且进行研磨切换时，避免将研磨碎屑带入到研磨机台下的真空阀中，保护真空装置，延长轴承使用寿命。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，包括：工作台；设置于所述工作台之上的第一研磨单元和第二研磨单元；机台，用于承载基板在所述工作台上运动，经过所述第一研磨单元和/或第二研磨单元对所述基板进行研磨。