光学鬼像的检测装置及其检测方法

摘要

一种用于光学系统的位于近光轴的光学鬼像的检测装置，其构成包括激光器，在该激光器的激光束输出方向依次是准直镜、半透半反镜和全反镜，在所述的半透半反镜和全反镜的反射光方向依次设置带小孔的光阑和装有可调衰减片的面阵CCD探测器，该面阵CCD探测器置于具有位置刻度标记的直线型导轨上，该面阵CCD探测器在所述的导轨上的移动由驱动器驱动，该驱动器的输入端与计算机的输出端相连，所述的面阵CCD探测器的输出端与所述的计算机的输入端相连，本发明可验证光学系统中鬼像，增加了高功率激光系统的安全性。装置适用于大口径透镜轴上光学鬼像的检测，具有结构简单，便于移动，易于实现的优势，弥补了宽光束鬼像难以检测的缺点。

主权项

一种用于光学系统的位于近光轴的光学鬼像的检测装置，特征在于其构成包括激光器(1)，在该激光器(1)的激光束输出方向依次是准直镜(2)、半透半反镜(3)和全反镜(4)，在所述的半透半反镜(3)和全反镜(4)的反射光方向依次设置带小孔的光阑(5)和装有可调衰减片的面阵CCD探测器(6)，该面阵CCD探测器(6)置于具有位置刻度标记的直线型导轨(603)上，该面阵CCD探测器(6)在所述的导轨上的移动由驱动器(7)驱动，该驱动器(7)的输入端与计算机(8)的输出端相连，所述的面阵CCD探测器(6)的输出端与所述的计算机(8)的输入端相连，所述的半透半反镜(3)和全反镜(4)平行并与所述的激光束成45°角放置，以所述的半透半反镜(3)和全反镜(4)入射光束的中心连线的中垂线为中轴同光轴地设置所述的带小孔的光阑(5)、装有可调衰减片的面阵CCD探测器(6)和待测光学系统(9)，在所述的中轴的下方并平行地设置所述的直线型导轨(603)。