发明名称 一种GaN基发光二极管外延片用衬底
摘要 本实用新型公开了一种GaN基发光二极管外延片用衬底,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、N型GaN层(3)、MQW发光层(5)以及P型GaN层(6),其特征在于:所述蓝宝石衬底层(1)为图形衬底,蓝宝石衬底层(1)上阵列式分布有多个图形凸起(11),图形凸起(11)上包覆有图形凸起掩膜,各图形凸起(11)之间的间隔为1μm,各图形凸起(11)竖截面与蓝宝石衬底层(1)接触长度为2μm,各图形凸起(11)的高度为1.6μm,该技术方案有效解决传统外延片抗静电能力差和发光效率低的问题。
申请公布号 CN203300687U 申请公布日期 2013.11.20
申请号 CN201320355290.2 申请日期 2013.06.20
申请人 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 发明人 芦玲;张向飞;钱仁海;刘坚
分类号 H01L33/22(2010.01)I 主分类号 H01L33/22(2010.01)I
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 32223 代理人 谢观素
主权项 一种GaN基发光二极管外延片用衬底,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、N型GaN层(3)、MQW发光层(5)以及P型GaN层(6),其特征在于:所述蓝宝石衬底层(1)为图形衬底,蓝宝石衬底层(1)上阵列式分布有多个图形凸起(11),图形凸起(11)上包覆有图形凸起掩膜,各图形凸起(11)之间的间隔为1μm,各图形凸起(11)竖截面与蓝宝石衬底层(1)接触长度为2μm,各图形凸起(11)的高度为1.6μm。
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