发明名称 | 一种GaN基发光二极管外延片用衬底 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种GaN基发光二极管外延片用衬底,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、N型GaN层(3)、MQW发光层(5)以及P型GaN层(6),其特征在于:所述蓝宝石衬底层(1)为图形衬底,蓝宝石衬底层(1)上阵列式分布有多个图形凸起(11),图形凸起(11)上包覆有图形凸起掩膜,各图形凸起(11)之间的间隔为1μm,各图形凸起(11)竖截面与蓝宝石衬底层(1)接触长度为2μm,各图形凸起(11)的高度为1.6μm,该技术方案有效解决传统外延片抗静电能力差和发光效率低的问题。 | ||
申请公布号 | CN203300687U | 申请公布日期 | 2013.11.20 |
申请号 | CN201320355290.2 | 申请日期 | 2013.06.20 |
申请人 | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 | 发明人 | 芦玲;张向飞;钱仁海;刘坚 |
分类号 | H01L33/22(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/22(2010.01)I |
代理机构 | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人 | 谢观素 |
主权项 | 一种GaN基发光二极管外延片用衬底,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、N型GaN层(3)、MQW发光层(5)以及P型GaN层(6),其特征在于:所述蓝宝石衬底层(1)为图形衬底,蓝宝石衬底层(1)上阵列式分布有多个图形凸起(11),图形凸起(11)上包覆有图形凸起掩膜,各图形凸起(11)之间的间隔为1μm,各图形凸起(11)竖截面与蓝宝石衬底层(1)接触长度为2μm,各图形凸起(11)的高度为1.6μm。 | ||
地址 | 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号 |