发明名称 |
一种检测浅沟槽隔离缺陷的方法 |
摘要 |
本发明提出一种检测浅沟槽隔离缺陷的方法,包括下列步骤:在半导体基底上形成浅沟槽;在所述浅沟槽内沉积垫氧化层;在所述垫氧化层上沉积界面层;在所述界面层上沉积二氧化硅氧化层;对上述结构进行检测,其中,在所述垫氧化层上沉积界面层的步骤采用原子层沉积方法。本发明提出的检测浅沟槽隔离缺陷的方法,能够有效检测出浅沟槽隔离的缺陷,并缩短高密度等离子体化学气相淀积填充浅沟槽的工艺调整周期。 |
申请公布号 |
CN102509711B |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201110355625.6 |
申请日期 |
2011.11.10 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
徐强;张文广;郑春生;陈玉文 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
陆花 |
主权项 |
一种检测浅沟槽隔离缺陷的方法,其特征在于,包括下列步骤:在半导体基底上形成浅沟槽;在所述浅沟槽内沉积垫氧化层,所述垫氧化层为二氧化硅层;在所述垫氧化层上沉积界面层,所述界面层为Al2O3,TiN,HfO,或ZrO层;在所述界面层上沉积二氧化硅氧化层,所述二氧化硅氧化层采用高密度等离子体化学气相沉积方法形成;对上述结构进行检测,所述检测步骤采用透射电子显微镜进行检测;其中,在所述垫氧化层上沉积界面层的步骤采用原子层沉积方法。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 |