发明名称 |
P通道闪存结构 |
摘要 |
本发明涉及一种P通道闪存结构包括N型掺杂基底、穿隧氧化层、氮化物栅极、栅间介电层、控制栅极、第一P型掺杂区以及第二P型掺杂区。该穿隧氧化层设置于N型掺杂基底上,该氮化物栅极设置于穿隧氧化层上,该栅间介电层设置于氮化物栅极上,该控制栅极设置于栅间介电层上,该第一P型掺杂区设置于N型掺杂基底中,并用以作为P通道闪存结构的源极,而该第二P型掺杂区设置于N型掺杂基底中,并用以作为P通道闪存结构的漏极。 |
申请公布号 |
CN103390636A |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201210195468.1 |
申请日期 |
2012.06.08 |
申请人 |
常忆科技股份有限公司 |
发明人 |
姜淳远 |
分类号 |
H01L29/40(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/40(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种P通道闪存结构,包括:N型掺杂基底;穿隧氧化层,设置于该N型掺杂基底上;氮化物栅极,设置于该穿隧氧化层上;栅间介电层,设置于该氮化物栅极上;控制栅极,设置于该栅间介电层上;第一P型掺杂区,设置于该N型掺杂基底中且位于该氮化物栅极下方的一侧,并用以作为该P通道闪存结构的源极;以及第二P型掺杂区,设置于该N型掺杂基底中且位于该氮化物栅极下方的另一侧,并用以作为该P通道闪存结构的漏极。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区新竹市工业东四路26号1、2楼 |