| 发明名称 | 短蚀刻配方的气体传输延迟解决方案 | ||
| 摘要 | 在一个实施方式中，一种用于提供多种气体的气体混合物的装置，具有多个质量流量控制器(MFC)，与多个MFC中每一个流体连通的混合歧管，位于该混合歧管上的多个混合歧管出口；以及与该多个混合歧管出口的每一个流体连通的隔离装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101910706B | 申请公布日期 | 2013.11.13 |
| 申请号 | CN200880124047.1 | 申请日期 | 2008.12.17 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 伊克巴尔·沙瑞芙;马克·塔斯卡尔;托尼·泽姆洛克 |
| 分类号 | F17D3/03(2006.01)I;F17D3/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | F17D3/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种用于提供多种气体的气体混合物的装置，包含：多个质量流量控制器(MFC)；与该多个MFC中每一个流体连通的混合歧管；位于该混合歧管上的多个混合歧管出口；以及与该多个混合歧管出口中的每一个流体连通的隔离装置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||