| 摘要 |
<p>Zpusob detekce interferencní fáze dvou interferujících laserových paprsku vyuzívá frekvencne modulovatelného zdroje (11) laserového zárení a nove vyvinuté vyhodnocovací jednotky (14). Touto kombinací je mozné urcit interferencní fázi ze signálu, který je snímán pouze jednoduchým fotodetektorem (7), s presností v rádu nanometru, s mozností snadno urcit smer pohybu mericího zrcadla a zároven toto vyhodnocení provádet bez nutnosti pouzití dalsích optických prvku ci pozadavku na zachování polarizace svazku. Výhodou nového zpusobu jsou oproti stávajícímu stavu zmensené nároky na mechanickou presnost konstrukce vyhodnocovací jednotky (14), objem a cenu elektrooptických komponent a celkovou mechanickou robustnost výsledného mericího systému. Zarízení obsahuje dvousvazkový laserový interferometr (1) pro merení vzdáleností, zdroj (11) laserového zárení s frekvencne modulovanou optickou frekvencí a fotodetektor (7), jehoz vstup laserového svetla lezí na výstupu dvousvazkového laserového interferometru (1). Rídicí vstup zdroje (11) laserového zárení s frekvencne modulovanou optickou frekvencí je spojen s prvním rídicím výstupem generátoru (12) modulacního signálu a druhým vstupem vyhodnocovací jednotky (14), jejíz první vstup je spojen s výstupem fotodetektoru (7).</p> |
