保持工作台

摘要

本发明提供一种保持工作台，该保持工作台能够降低污染物在吸引保持的板状物上的附着和损伤的可能性。一种保持板状物的保持工作台，所述保持工作台的特征在于，具有：环状保持部，其具有保持板状物的外周部的环状保持面；以及凹部，其被该环状保持部围绕，在该环状保持部形成有：抽吸口，其开口于该环状保持面；抽吸通路，其一端与该抽吸口连通并且另一端连接于抽吸源；液体喷出口，其开口于该抽吸口的外周侧的所述环状保持面；以及液体流路，其一端与该液体喷出口连通并且另一端连接于液体供给源。

主权项

一种保持工作台，其是保持板状物的保持工作台，其特征在于，具有：环状保持部，其具有保持板状物的外周部的环状保持面；以及中央凹部，其被所述环状保持部围绕，在所述环状保持部形成有：抽吸口，其开口于所述环状保持面；抽吸通路，其一端与所述抽吸口连通并且另一端连接于抽吸源；液体喷出口，其开口于所述抽吸口的外周侧的所述环状保持面；以及液体流路，其一端与所述液体喷出口连通并且另一端连接于液体供给源。