研磨颗粒之亲水及疏水矽烷表面改良

摘要

本发明提供一种表面经改良之研磨颗粒，其包括作为基质之研磨颗粒，及在研磨颗粒上之包括相对亲水矽烷组份及相对疏水矽烷组份之膜。膜可为单一膜层或多个膜层，其中最接近研磨颗粒之膜层具有主要亲水矽烷组份，且较远离研磨颗粒之膜层主要包括相对疏水矽烷组份。经涂布之研磨产物及经黏结之研磨产物包括表面经改良之研磨颗粒。