| 摘要 |
[课题]提供一种基板搬运装置，不用将基板的预备位;置决定机构设置于搬入台、曝光台，却可在搬运至曝光台之前进行基板的预备位置决定，且销的设置位置调整也简化作为课题。;[解决方式]基板搬运装置包括：预备位置决定机构;2，押动上述搬入台30上的基板W的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构20，将此预备位置决定机构藉由支持本体12支持，且将预备位置决定完成的的基板吸着保持而搬运至上述曝光台40；其中上述预备位置决定机构系，具有被支持在上述支持本体的驱动装置6、以及藉由此驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置3；上述驱动装置系，具有圆筒形的磁性轴体7、使此磁性轴体在轴周围转动的转动装置8、以及与藉由此转动装置转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第一纵长磁性体9A和第二纵长磁性体9B。 |
