| 摘要 |
本发明的氩气精制方法中，是将原料气体G0收进贮留槽10，另外，从贮留槽10向着已充填吸附剂的吸附塔31A、31B、31C供应混合气体G1。然后，在各吸附塔重复进行包含吸附(absorption)步骤与脱附(desorption)步骤的循环。在吸附步骤中，在塔内相对高压的状态，将气体G1导入此吸附塔而使吸附剂吸附气体G1中的不纯物，且将氩气富化的气体G2从此吸附塔导出。在脱附步骤中，使塔内降压而从吸附剂脱附不纯物，且从此吸附塔导出气体。另外，吸附步骤是包含在此步骤的开始到途中之中从吸附塔导出气体G5的第一脱附步骤、与从吸附塔导出气体G6的第二脱附步骤，并使气体G5回到贮留槽10。 |
