托盘机构（ｔｒａｙ ｕｎｉｔ）及半导体元件（ｄｅｖｉｃｅ）的检查设备

摘要

一种托盘机构(tray unit)及半导体元件(device)的检查设备，系可将检查对象之半导体元件(device)分为多个承载的托盘机构(tray unit)，是与形成底部之底部部材与置放在此底板部材上具在水平方向分为数个，各自分到固定的半导体元件(device)的半导体元件承载托盘。前述半导体元件(device)的脚是向上的状态，可容易装脱于要测试各个半导体元件(device)的电气特性之半导体元件检查设备。