| 摘要 |
电脑可读取媒体包含使电脑执行处理步骤之电脑可执行指令，该等处理步骤系计算投影光学系统之影像面上所形成的光强度分布之步骤；当执行时，该媒体使电脑执行以下步骤：将有效光源画分成为复数个区域；针对该复数个区域之各者，藉由依据画分的点光源之各者的位置，将光瞳函数移位以产生复数个移位的光瞳函数；针对该复数个区域之各者界定一矩阵，该矩阵包含该复数个光瞳函数；针对该复数个区域之各者，藉由执行该矩阵的奇值分解而计算特征值及特征函数；以及针对该复数个区域之各者，根据来自罩幕之绕射光分布及该等特征值和特征函数，计算光强度分布。 |
