Akustischer Resonator, sowie dessen Herstellungs- und Auswahlverfahren für eine Primär- oder Grundschicht mit kristallographischer Struktur

摘要

Akustischer Resonator, welcher Folgendes umfasst: ein Substrat; wenigstens eine kristalline Primär- oder Grundschicht, welche auf dem Substrat entweder direkt oder auf einer oder mehreren Zwischenschichten angeordnet ist; eine glatte und kristalline Elektrodenschicht, welche auf der Primär- oder Grundschicht angeordnet ist; und eine piezoelektrische Schicht, welche auf der Elektrodenschicht angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass (i) die Primär- oder Grundschicht oder wenigstens eine der Primär- oder Grundschichten eine kristallographische Struktur aufweist, die zu einem ersten Kristallsystem gehört, (ii) die Elektrodenschicht eine kristallographische Struktur aufweist, die zu einem zweiten Kristallsystem gehört, welches unterschiedlich zu dem ersten Kristallsystem ist; und (iii) der atomare Abstand in der Primär- oder Grundschicht oder in wenigstens einer der Primär- oder Grundschichten oder wenigstens in der Primär- oder Grundschicht, welche an der Grenzfläche zu der Elektrode liegt, und der atomare Abstand der Elektrode in wenigstens einer Richtung innerhalb 15 Prozent angepasst sind.