| 发明名称 | 一种晶圆洗边工艺的侦测系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆洗边工艺的侦测系统，该系统至少包括信号检测模块，用于检测晶圆边缘红外反射光的变化并输出电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块相连，用于处理所述信号检测模块输出的电信号；所述信号检测模块包括用于接收反射光信号的接收器和接收所述接收器光信号并将该光信号转变成电信号的探测传感器；所述信号处理模块包括：信号放大模块、信号输出模块及报警模块。该侦测系统用于侦测晶圆是否进行洗边工艺，有效防止晶圆报废，提高产品良率。 | ||
| 申请公布号 | CN203277332U | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
| 申请号 | CN201320263144.7 | 申请日期 | 2013.05.15 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 林志清;李广宁 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
| 主权项 | 一种晶圆洗边工艺的侦测系统，其特征在于，所述侦测系统至少包括：信号检测模块，用于检测晶圆边缘红外反射光的变化并输出电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块相连，用于处理所述信号检测模块输出的电信号。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||