发明名称 |
一种涂胶设备 |
摘要 |
本实用新型提供一种涂胶设备,用于对基板进行涂胶,包括胶液供给单元、涂胶单元,在胶液供给单元与涂胶单元之间还设有用于对胶液流量进行监测的监控单元,监控单元分别与胶液供给单元和所述涂胶单元连接。该涂胶设备能够对整个涂胶过程进行实时监控并补救,提高了涂胶工艺的稳定性,提高了涂胶效率,保证了薄膜产品的品质。 |
申请公布号 |
CN203264995U |
申请公布日期 |
2013.11.06 |
申请号 |
CN201320224924.0 |
申请日期 |
2013.04.27 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
王灿;齐永莲 |
分类号 |
B05C11/04(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I |
主分类号 |
B05C11/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
罗建民;邓伯英 |
主权项 |
一种涂胶设备,用于对基板进行涂胶,包括胶液供给单元、涂胶单元,其特征在于,在所述胶液供给单元与所述涂胶单元之间还设有用于对胶液流量进行监测的监控单元,所述监控单元分别与所述胶液供给单元和所述涂胶单元连接。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |