发明名称 |
气氛烧结炉 |
摘要 |
本实用新型公开了一种气氛烧结炉,其包括一炉壳,所述炉壳内包括一炉膛以及一设置于所述炉膛内用于容纳电子元件芯片的容器,所述气氛烧结炉还包括一驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述容器旋转。本实用新型能够使得电子元件芯片在烧结时不断地旋转翻动,避免了电子元件芯片粘结在一起,使得电子元件芯片能够被充分地烧结,同时提高了N2的利用效率,减少了N2的使用量,降低了电力消耗,降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN203274466U |
申请公布日期 |
2013.11.06 |
申请号 |
CN201320202436.X |
申请日期 |
2013.04.18 |
申请人 |
上海市灿晶电子材料有限公司 |
发明人 |
王翔通;王政华;蒋亚飞;刘双全 |
分类号 |
F27B5/04(2006.01)I;F27B5/06(2006.01)I;F27B5/16(2006.01)I |
主分类号 |
F27B5/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
胡美强;杨东明 |
主权项 |
一种气氛烧结炉,其特征在于,其包括一炉壳,所述炉壳内包括一炉膛以及一设置于所述炉膛内用于容纳电子元件芯片的容器,所述气氛烧结炉还包括一驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述容器旋转。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区民京路853号2幢2059室 |