发明名称 | 具有分段式蚀刻停止层的图像传感器 | ||
摘要 | 本申请案涉及具有分段式蚀刻停止层的图像传感器。一种装置包含其中布置有像素阵列的半导体层。钝化层在所述像素阵列之上邻近于所述半导体层而安置。包含多个蚀刻停止层段的分段式蚀刻停止层在所述像素阵列之上邻近于所述钝化层而安置。在所述多个蚀刻停止层段中的每一者之间的边界与在所述像素阵列中的像素之间的边界对准。 | ||
申请公布号 | CN103383948A | 申请公布日期 | 2013.11.06 |
申请号 | CN201310154196.5 | 申请日期 | 2013.04.28 |
申请人 | 全视科技有限公司 | 发明人 | 陈刚;毛杜立;戴幸志 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 齐杨 |
主权项 | 一种装置,其包括:半导体层,其中布置有像素阵列;钝化层,其在所述像素阵列之上邻近于所述半导体层而安置;以及分段式蚀刻停止层,其包含在所述像素阵列之上邻近于所述钝化层而安置的多个蚀刻停止层段,其中在所述多个蚀刻停止层段中的每一者之间的边界与在所述像素阵列中的像素之间的边界对准。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |