闸阀及使用该闸阀的基板处理装置

摘要

本发明提供闸阀及使用该闸阀的基板处理装置。其能够微调基板搬入搬出口的周围的壁面与阀体之间的间隙。闸阀(200)构成为利用凸轮机构(260)使阀体(210)进退来开闭基板搬入搬出口(112)。凸轮机构具有：纵长构件(261)，其沿与阀体的进退方向正交的方向自由滑动；板状凸轮(270)，其设置在纵长构件与阀体之间，与纵长构件的动作连动地将纵长构件的滑动动作转换为阀体的进退动作；阀体驱动构件(280)，其与板状凸轮连动地与阀体相抵接，通过沿阀体的进退方向滑动而进退驱动阀体；间隙调整构件(310)，其设置在阀体驱动构件的与阀体相抵接的顶端面上，用于调整阀体与基板搬入搬出口之间的间隙。

主权项

一种闸阀，其用于对设置在腔室的侧壁上的基板搬入搬出口进行开闭，其特征在于，该闸阀具有：壳体，其以围绕上述基板搬入搬出口的方式设置在上述腔室的侧壁上；阀体，其自由升降地设置在上述壳体内，用于对上述基板搬入搬出口进行开闭；升降驱动部件，其使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和从上述基板搬入搬出口退避的位置之间升降；开闭驱动部件，其由使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和按压并闭塞上述基板搬入搬出口的位置之间进退的凸轮机构构成；上述凸轮机构具有：纵长构件，其跨越上述阀体的长度方向地配置在上述阀体的背面侧，并自由滑动地支承在上述壳体上；驱动部件，其使上述纵长构件向与上述阀体的进退方向正交的方向滑动；板状凸轮，其设置在上述纵长构件与上述阀体之间，与上述纵长构件的动作连动地将上述纵长构件的滑动动作转换为上述阀体的进退动作；阀体驱动构件，其与上述板状凸轮连动地与上述阀体相抵接，通过沿上述阀体的进退方向滑动而进退驱动上述阀体；间隙调整构件，其设置在上述阀体驱动构件的与阀体相抵接的顶端面上，用于调整上述阀体与上述基板搬入搬出口之间的间隙，上述间隙调整构件由连续设置有头部和螺纹部的螺栓构成，构成为使上述螺栓的螺纹部与设置在上述阀体驱动构件的顶端面的螺纹孔螺纹接合、并且使上述螺栓的头部的顶端面与 上述阀体抵接。