不规则栅阵的声表面波谐振器

摘要

本实用新型不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。本实用新型消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。

主权项

不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。