| 发明名称 | 一种刻蚀电极机构中的上电极 | ||
| 摘要 | 一种刻蚀电极机构中的上电极，包括气体喷孔（1）、安装孔（3），上电极设置成圆台（5），圆台（5）按规律设置有辅助气体分配的沟槽（2），沟槽（2）上等间距设置有气体喷孔（1）。本发明结构简单，操作方便，具有对等离子工作气体的分配功能、具有密封功能、与电场接触的一面具有绝缘特性、耐腐蚀性另一面具有导电性能用于连接1000V正电，提高了加工质量和工作效率，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103377867A | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
| 申请号 | CN201210108406.2 | 申请日期 | 2012.04.14 |
| 申请人 | 靖江先锋半导体科技有限公司 | 发明人 | 游利 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人 | 陆平 |
| 主权项 | 一种刻蚀电极机构中的上电极，包括气体喷孔（1）、安装孔（3），其特征在于：上电极设置成圆台（5），圆台（5）按规律设置有辅助气体分配的沟槽（2），沟槽（2）上等间距设置有气体喷孔（1）。 | ||
| 地址 | 214500 江苏省泰州市靖江市经济开发区城南工业园区北六圩 | ||