一种燃烧室结构

摘要

一种燃烧室结构，包括尾气管道、杯形体以及排风管道，所述杯形体的底部可拆卸的套设于所述尾气管道的尾端，所述排风管道的一端插设于所述杯形体的杯腔内，所述排风管道与所述杯形体的内壁以及底部均具有间隙，且所述排风管道经所述杯腔与所述尾气管道连通。本实用新型结构简单、制造方便，在LPCVD系统反应室内未完全反应的剩余气体可由氮气稀释后，在燃烧室内与空气进行二次反应，二次反应生成的粉尘沉淀留在燃烧室内，而构成燃烧室的杯形体可拆卸后进行清理，既保证了排风管道不被堵塞，同时也避免了剩余气体积累而导致自爆，安全性高。

主权项

一种燃烧室结构，其特征在于，包括尾气管道、杯形体以及排风管道，所述杯形体的底部可拆卸的套设于所述尾气管道的尾端，所述排风管道的一端插设于所述杯形体的杯腔内，所述排风管道与所述杯形体的内壁以及底部均具有间隙，且所述排风管道经所述杯腔与所述尾气管道连通。