发明名称 |
氧化硅薄膜的高温原子层沉积 |
摘要 |
公开了以>500℃的温度形成氧化硅的原子层沉积(ALD)方法。使用的硅前体具有通式:I.R1R2mSi(NR3R4)nXp其中R1、R2和R3各自独立地选自氢、直链或支链C1-C10烷基和C6-C10芳基;R4选自直链或支链C1-C10烷基、C6-C10芳基和C3-C10烷基甲硅烷基;其中R3和R4连接形成环结构或R3和R4不连接形成环结构;X是选自Cl、Br和I的卤素;m是0-3;n是0-2;和p是0-2且m+n+p=3;和II.R1R2mSi(OR3)n(OR4)qXp其中R1和R2各自独立地选自氢、直链或支链C1-C10烷基和C6-C10芳基;R3和R4各自独立地选自直链或支链C1-C10烷基和C6-C10芳基;其中R3和R4连接形成环结构或R3和R4不连接形成环结构;X是选自Cl、Br和I的卤素;m是0-3;n是0-2;q是0-2和p是0-2且m+n+p+q=3。 |
申请公布号 |
CN103374708A |
申请公布日期 |
2013.10.30 |
申请号 |
CN201310164475.X |
申请日期 |
2013.04.12 |
申请人 |
气体产品与化学公司 |
发明人 |
H·钱德拉;王美良;萧满超;雷新建;R·M·皮尔斯泰恩;M·L·奥内尔;韩冰 |
分类号 |
C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/40(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
吴亦华 |
主权项 |
将氧化硅薄膜沉积到衬底上的方法,包括步骤:a.在反应器中提供衬底;b.将至少一种硅前体引入所述反应器中;c.用吹扫气体吹扫反应器;d.将氧源引入所述反应器中;和e.用吹扫气体吹扫反应器;和其中重复步骤b至e直到沉积所需厚度的氧化硅;和其中所述方法在500‑800℃的一个或多个温度下和50毫托(mT)‑760托的一个或多个压力下进行。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚州 |