剥除铜或铜合金光阻的组成物

摘要

本发明公开了一种用以剥除铜或铜合金光阻的组成物，其包含：(a)0.1重量％～30重量％的至少一种胺化合物；及(b)其余为至少一种有机溶剂。

主权项

1.一种用以剥除铜或铜合金光阻的组成物，包含：（a）0.1重量%～30重量%的至少一种选自由下式1至式5表示的化合物的胺化合物；及（b）其余为至少一种有机溶剂；<式1><式2><式3><式4><式5>其中，R₁、R₄与R₅各独立地为C₁～C₁₀的直链或支链亚烷基；R₂、R₃与R₆各独立地为氢原子、或C₁～C₁₀的直链或支链烷基；R₇、R₈与R₁₀各独立地为氢原子、C₁～C₁₀的直链或支链烷基、C₆～C₁₀的芳基、C₁～C₁₀的直链或支链烷基胺基、C₁～C₁₀的直链或支链羟烷基、C₁～C₁₀的直链或支链烷基苯、或胺基；R₉与R₁₁各独立地为氢、C₁～C₁₀的直链或支链烷基、C₆～C₁₀的芳基、C₁～C₁₀的直链或支链烷基胺基、或胺基；R₁₂为C₁～C₄的直链或支链羟烷基、或C₁～C₄的直链或支链硫烷基；R₁₃与R₁₄各独立地为C₁～C₅的直链或支链烷基、C₁～C₄的直链或支链羟烷基、C₆～C₁₀的芳基、或C₁～C₄的烷氧基烷基，而且R₁₃与R₁₄可彼此键结形成杂环；n₁与n₃各独立地为0或1的整数；n₂与n₄各独立地为0至4的整数；n₅为1或2的整数；n₆为1至4的整数；n₇为0至4的整数；X₁为S、O、或N；X₂为N；X₃为CH或N；X₄为CH₂、S、O或NH；及Y为羟基或胺基，该组成物按组成物总量计进一步包含：（c）0.01～10重量%的至少一种络合物的至少一种添加剂，其中所述至少一种络合物选自顺丁烯二酸钠-钛、乙醇酸钠-锆、乳酸钠-锆、乳酸钾-锆、乙醇酸钾-锆、与顺丁烯二酸钾-钛所构成的组中的一种或两种以上。