发明名称 一种测试电感的方法
摘要 本发明公开了一种测试电感的方法,所述晶片包括设置于该晶片上的电感和连接该电感的外围引线,该外围引线包括使所述电感接地的第一引线,和使该电感的两端分别连接相对应焊盘的第二引线和第三引线,所述方法包括下列步骤:测量包含所述电感和外围引线的第一参数;移除所述电感,得到包含外围引线的开路结构,测量该开路结构的第二参数;将所述开路结构的外围引线互相连接,形成短路结构,测量该短路结构的第三参数;通过从所述第一参数中减去第二参数和第三参数获取表示所述电感值的第四参数。通过该方法测试的电感器的电感值比较准确,其误差范围为2%。
申请公布号 CN102147434B 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN201010110515.9 申请日期 2010.02.09
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 何丹
分类号 G01R27/26(2006.01)I;G01R27/02(2006.01)I 主分类号 G01R27/26(2006.01)I
代理机构 北京市磐华律师事务所 11336 代理人 董巍;顾珊
主权项 一种测试晶片上的电感的方法,所述晶片包括设置于该晶片上的电感和连接该电感的外围引线,该外围引线包括使所述电感接地的第一引线,和使该电感的两端分别连接相对应焊盘的第二引线和第三引线,所述方法包括下列步骤:测量包含所述电感和外围引线的第一参数;移除所述电感,得到包含外围引线的开路结构,测量该开路结构的第二参数;将所述开路结构的外围引线互相连接,形成短路结构,测量该短路结构的第三参数,其中,所述将所述开路结构的外围引线互相连接包括:将所述各自连接焊盘的第二引线、第三引线与所述接地的第一引线相互移动连接,移动上述三个引线并不增加所述引线的长度;以及获取表示所述电感值的第四参数,其中,所述第四参数的获取包括:先将所述第一参数与所述第二参数相减得到的差值转换为与所述第三参数相一致的参数形式,再将经过所述转换的所述差值与所述第三参数相减,所述第一参数为第一导纳参数,所述第二参数为第二导纳参数,所述第三参数为第三阻抗参数。
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